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183.第183章 分布式投影光刻机研制成功

需要费大量的精力,但他可是有着从伊力诺依大学国家超算研究中心下载的资料的。

前面的铺垫都已经被黄新华等人完成,他要做的就是“一拍脑袋”拿出主意就行。

就是可惜没有最新的euv光刻机的资料,那东西好像是盒兰的一家公司生产的,是全球光刻机领域的龙头企业。

“看来得找个机会撺掇阿斯克去盒兰一趟。”李暮心中暗道。

……

短暂的高兴过后,大家很快又回到各自的岗位,开始实验。

李暮也带着分布式投影光刻机研制组的成员,前往会议室开会。

进入会议室,众人依次落座。

看着台上的李暮,很多人都不由挺直了腰杆,用期待的目光看向李暮,等待着他给出下一步的研究方向。

这种熟悉的感觉,自从超算的项目开始启动之后,他们很久没有体会到了。

“大家先来说说问题,顺带说说自己的想法吧。”李暮站在台上,却没有着急立刻拿出资料。

直接解决问题固然能够让分布式投影光刻机的研制速度大大提升,但这种“拿来主义”对刘泽和王杨等还在成长的研究生其实相当不利。

黄新华和其他的专家教授们见到他的做法,也是含笑点了点头,显然非常认可。

见众人你看看我我看看你,都有点顾忌丢脸,他索性点名道:“刘泽王杨,你们俩起个头。”

“你们可是和李暮一个学校出来的,还是他的师兄呢,精神点,别丢份。”已经将头快埋到桌子底下的两人闻言,瞬间瑟瑟发抖。

怕归怕,可两人一听黄新华说,他们和李暮一样都是京工院出来的,一下又挺起了胸膛。

说得咋样不提,关键是不能丢份。

……

有两人起头,后面的其他人见状,也纷纷跟着开口。

对于所有人的想法和建议,李暮都给予了鼓励和赞扬,有些说到点子上的,他还顺着聊了聊。

待大家都发表完意见后,他笑道:

“这么一讨论,大家群策群力,我觉得接下来物镜的实验方案就很清晰了嘛。”

“从物象至像面依次排列,包括具有正光焦度的第一透镜组、光焦度为负的第二透镜组,光焦度为正的第三透镜组、光焦度为负的第四透镜组,以及光焦度为正的第五透镜组。”

“这种结构安排满足了特定的光学条件,包括有效焦距f、物面至像面的距离l、光阑处个个视场发出的光束最大口径之差r,以及光阑处中心视场发出的光束最大口径r。”

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