的被褥，看到他领着一只大公鸡回来，忍不住羡慕道：

“小李，今天你们家吃鸡肉啊？”

“在学校拿了点奖励，买只鸡庆祝庆祝，等会让您和钟大爷也来吃点。”李暮笑呵呵道。

话音刚落，李奶奶便拿着簸箕从屋里出来，不禁埋怨道：“买只小点的庆祝不就好了，买这么大一只多浪费。”

“下次可不许再这样了。”

话是这么说，李奶奶的眼角却早已笑出皱纹。

说完后，她又看向张大妈，道：

“小暮说得对，伱等会喊上你家那口子来帮个忙，大军笨手笨脚的，鸡都杀不好。”

李暮既然开了这个口，她肯定不能唱反调。

再说一点鸡肉算什么，她家大孙子有本事，要多少鸡肉没有？

“好好，我等会儿就让老钟过来。”张大妈顿时乐得合不拢嘴。

李暮看着李奶奶自豪的样子，心中微微叹道：

“罢了，先顾好小家，再去照顾大家吧。”

……

半导体研究所。

李暮来的时候，已经能听见里面激烈的讨论声：

“你这个光学系统的透镜不行，这个精度，怎么可能实现精确聚焦，完成高精度的光刻呢！”

“激光光束要想办法调整和整形，才能满足光刻的需求。”

“对准系统用于确保光照和硅片之间的精确对准，既然精密度达不到，那就先用手动！”

……

小心地推开门，李暮正打算进去，吵闹的会议室忽然安静下来。

台上王绶觉面露喜色道：“你可算来了，快给我们出出主意。”

“由原来的土光刻机研制的光刻机已经做出来了，不过精度还是个问题，有什么办法没有？”

说着，他就把李暮拉上去。

被赶鸭子上架，他毫不露怯，想了想，道：“现在我们在仪器上，其实突破的空间已经很小了。”

这话一出，不少人顿时露出失望之色，很多人更是摇头叹气。

精度达不到，就不可能实现大规模集成，更别提实用型芯片的制作。但李暮又紧接着道：“但也不是没有办法，通过增强分辨率，也能提高光刻机的精度。”

“哦，怎么个提高法？”王绶觉迫不及待地道。

李暮笑道：“很简单，通过相关照明的简化近似和数值孔径的调整，再去确定可分辨的最小光栅半宽。”

听完，会议室内的众人顿时恍然大悟：

“哈，我真实头猪，钻死胡同了，竟然没想到这茬，光刻机的

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